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FESTO傳感器靜態特性
FESTO傳感器的靜態特性是指對靜態的輸入信號,傳感器的輸出量與輸入量之間所具有相互關系。因為這時輸入量和輸出量都和時間無關,所以它們之間的關系,即傳感器的靜態特性可用個不含時間變量的代數方程,或以輸入量作橫坐標,把與其對應的輸出量作縱坐標而畫出的特性曲線來描述。表征傳感器靜態特性的主要參數有:線性度、靈敏度、遲滯、重復性、漂移等。
(1)FESTO傳感器線性度:指傳感器輸出量與輸入量之間的實際關系曲線偏離擬合直線的程度。定義為在全量程范圍內實際特性曲線與擬合直線之間的zui大偏差值與滿量程輸出值之比。
(2)FESTO傳感器靈敏度:靈敏度是傳感器靜態特性的個重要指標。其定義為輸出量的增量與引起該增量的相應輸入量增量之比。用S表示靈敏度。
(3)FESTO傳感器遲滯:傳感器在輸入量由小到大(正行程)及輸入量由大到小(反行程)變化期間其輸入輸出特性曲線不重合的現象成為遲滯。對于同大小的輸入信號,傳感器的正反行程輸出信號大小不相等,這個差值稱為遲滯差值。
(4)FESTO傳感器重復性:重復性是指傳感器在輸入量按同方向作全量程連續多次變化時,所得特性曲線不致的程度。
(5)FESTO傳感器漂移:傳感器的漂移是指在輸入量不變的情況下,傳感器輸出量隨著時間變化,次現象稱為漂移。產生漂移的原因有兩個方面:是傳感器自身結構參數;二是周圍環境(如溫度、濕度等)。
FESTO傳感器的分類
FESTO傳感器可以用不同的觀點對傳感器進行分類:它們的轉換原理(傳感器工作的基本物理或化學效應);它們的用途;它們的輸出信號類型以及制作它們的材料和工藝等。
FESTO傳感器工作原理,可分為物理傳感器和化學傳感器二大類 :
FESTO傳感器工作原理的分類物理傳感器應用的是物理效應,諸如壓電效應,磁致伸縮現象,離化、極化、熱電、光電、磁電等效應。被測信號量的微小變化都將轉換成電信號。
FESTO傳感器包括那些以化學吸附、電化學反應等現象為因果關系的傳感器,被測信號量的微小變化也將轉換成電信號。
FESTO傳感器既不能劃分到物理類,也不能劃分為化學類。大多數傳感器是以物理原理為基礎運作的。化學傳感器技術問題較多,例如可靠性問題,規模的可能性,價格問題等,解決了這類難題,化學傳感器的應用將會有巨大增長。
FESTO傳感器的應用域和工作原理列于下表。
1.FESTO傳感器按照其用途,傳感器可分類為:
FESTO傳感器
FESTO傳感器液面傳感器 能耗傳感器
FESTO傳感器速度傳感器 加速度傳感器
FESTO傳感器射線輻射傳感器 熱敏傳感器
2.FESTO傳感器按照其原理,傳感器可分類為:
FESTO傳感器振動傳感器 濕敏傳感器
FESTO傳感器磁敏傳感器 氣敏傳感器
FESTO傳感器真空度傳感器 生物傳感器等。
FESTO傳感器以其輸出信號為標準可將傳感器分為:
FESTO傳感器模擬傳感器——將被測量的非電學量轉換成模擬電信號。
FESTO傳感器數字傳感器——將被測量的非電學量轉換成數字輸出信號(包括直接和間接轉換)。
FESTO傳感器膺數字傳感器——將被測量的信號量轉換成頻率信號或短周期信號的輸出(包括直接或間接轉換)。
FESTO傳感器開關傳感器——當個被測量的信號達到某個特定的閾值時,傳感器相應地輸出個設定的低電平或高電平信號。
FESTO傳感器在外界因素的作用下,所有材料都會作出相應的、具有特征性的反應。它們中的那些對外界作用zui敏感的材料,即那些具有功能特性的材料,被用來制作傳感器的敏感元件。從所應用的材料觀點出發可將傳感器分成下列幾類:
(1)FESTO傳感器按照其所用材料的類別分
FESTO傳感器金屬 聚合物 陶瓷 混合物
(2)FESTO傳感器按材料的物理性質分
FESTO傳感器導體 緣體 半導體 磁性材料
(3)FESTO傳感器按材料的晶體結構分
FESTO傳感器單晶 多晶 非晶材料
FESTO傳感器與采用新材料緊密相關的傳感器開發工作,可以歸納為下述三個方向:
(1)FESTO傳感器在已知的材料中探索新的現象、效應和反應,然后使它們能在傳感器技術中得到實際使用。
(2)FESTO傳感器探索新的材料,應用那些已知的現象、效應和反應來改進傳感器技術。
(3)FESTO傳感器在研究新型材料的基礎上探索新現象、新效應和反應,并在傳感器技術中加以具體實施。
FESTO傳感器制造業的進展取決于用于傳感器技術的新材料和敏感元件的開發強度。傳感器開發的基本趨勢是和半導體以及介質材料的應用密切關聯的。表1.2中給出了些可用于傳感器技術的、能夠轉換能量形式的材料。
FESTO傳感器按照其制造工藝,可以將傳感器區分為:
FESTO傳感器薄膜傳感器厚膜傳感器陶瓷傳感器
FESTO傳感器是用標準的硅基半導體集成電路的工藝技術制造的。通常還將用于初步處理被測信號的部分電路也集成在同芯片上。
FESTO傳感器則是通過沉積在介質襯底(基板)上的,相應敏感材料的薄膜形成的。使用混合工藝時,同樣可將部分電路制造在此基板上。
FESTO傳感器是利用相應材料的漿料,涂覆在陶瓷基片上制成的,基片通常是Al2O3制成的,然后進行熱處理,使厚膜成形。
FESTO傳感器采用標準的陶瓷工藝或其某種變種工藝(溶膠-凝膠等)。
FESTO傳感器完成適當的預備性操作之后,已成形的元件在高溫中進行燒結。厚膜和陶瓷傳感器這二種工藝之間有許多共同特性,在某些方面,可以認為厚膜工藝是陶瓷工藝的種變型。
FESTO傳感器每種工藝技術都有自己的優點和不足。由于研究、開發和所需的資本投入較低,以及傳感器參數的高穩定性等原因,采用陶瓷和厚膜傳感器比較合理。
FESTO傳感器動態特性
FESTO傳感器所謂動態特性,是指傳感器在輸入變化時,它的輸出的特性。在實際工作中,傳感器的動態特性常用它對某些標準輸入信號的響應來表示。這是因為傳感器對標準輸入信號的響應容易用實驗方法求得,并且它對標準輸入信號的響應與它對任意輸入信號的響應之間存在定的關系,往往知道了前者就能推定后者。zui常用的標準輸入信號有階躍信號和正弦信號兩種,所以傳感器的動態特性也常用階躍響應和頻率響應來表示。
FESTO傳感器的線性度
FESTO傳感器通常情況下,傳感器的實際靜態特性輸出是條曲線而非直線。在實際工作中,為使儀表具有均勻刻度的讀數,常用條擬合直線近似地代表實際的特性曲線、線性度(非線性誤差)就是這個近似程度的個指標。
FESTO傳感器擬合直線的選取有多種方法。如將零輸入和滿量程輸出點相連的理論直線作為擬合直線;或將與特性曲線上各點偏差的平方和為zui小的理論直線作為擬合直線,此擬合直線稱為zui小二乘法擬合直線。
FESTO傳感器的靈敏度
FESTO傳感器在穩態工作情況下輸出量變化△y對輸入量變化△x的比值。
FESTO傳感器它是輸出輸入特性曲線的斜率。如果傳感器的輸出和輸入之間顯線性關系,則靈敏度S是個常數。否則,它將隨輸入量的變化而變化。
FESTO傳感器靈敏度的量綱是輸出、輸入量的量綱之比。例如,某位移傳感器,在位移變化1mm時,輸出電壓變化為200mV,則其靈敏度應表示為200mV/mm。
FESTO傳感器的輸出、輸入量的量綱相同時,靈敏度可理解為放大倍數。 提高靈敏度,可得到較高的測量精度。但靈敏度愈高,測量范圍愈窄,穩定性也往往愈差。
FESTO傳感器的分辨力
FESTO傳感器可能感受到的被測量的zui小變化的能力。也就是說,如果輸入量從某非零值緩慢地變化。當輸入變化值未超過某數值時,傳感器的輸出不會發生變化,即傳感器對此輸入量的變化是分辨不出來的。只有當輸入量的變化超過分辨力時,其輸出才會發生變化。
FESTO傳感器在滿量程范圍內各點的分辨力并不相同,因此常用滿量程中能使輸出量產生階躍變化的輸入量中的zui大變化值作為衡量分辨力的指標。上述指標若用滿量程的百分比表示,則稱為分辨率。分辨率與傳感器的穩定性有負相相關性。
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